德國PI(Physik Instrumente)定位器價格

P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

·         X和Y向上的行程達100微米×100微米

·         電容式傳感器使分辨率達0.1納米

·         帶直接驅(qū)動器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)

·         導(dǎo)向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃?/span>

·         零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

·         50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用

訂購信息：

P-733.2VD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

德國PI(Physik Instrumente)定位器價格

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運動平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

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